擊穿是指電壓越過或通過絕緣體放電并產生過量電流的狀態。傳統上，耐壓測試儀被用于監測和測量這類災難性絕緣故障形成的電流。耐壓測試儀如偵測到超出了其電流跳閘點，將指示故障并立即關閉高電壓。

在電介質擊穿之前，導體周圍可形成電暈或高阻抗電弧放電。在某些情形下，電暈可定義為空氣電離引起的發光放電。電暈是電應力在電場的電極邊緣集中而產生的一種部分擊穿現象。高阻抗電弧與電暈產生的高頻脈沖，其頻率可在低于30千赫至高于1兆赫范圍內變動，而且持續時間可能很短。這些脈沖常常持續不足10微秒。這些短時脈沖或尖峰信號不一定會立即導致擊穿放電，從而引起電流增大或輸出電壓減弱。耐壓測試儀輕微的電暈放電可忽略不計，但前提是測試電壓暫時降至較低數值時放電應當停止，而且該數值必須高于參考電壓，同時這類放電不得引起測試電壓降低。